在湿式静电除尘器中，粉尘颗粒有两种类型的电荷过程，直径大于1μ对于m颗粒来说，现场充电是主要作用。当颗粒与沿电力线运动的负离子发生碰撞时，电压的强度是影响这一过程的主要因素。直径大于0.5μm粒子的扩散和充电是主要作用。亚微米粒子随机运动时与负离子碰撞带电，注入的电流密度是影响扩散和放电的重要因素。在湿式静电除尘器中，由于放电极被水浸润，电子容易溢出。同时，水雾被放电极的强大电火花进一步粉碎细化，使得电场内有大量带电雾滴，大大提高了亚微米粒子碰撞带电的概率，而带电粒子在电场中的运动速度是布朗运行的几十倍，大大提高了亚微米粒子向集电极的运行速度，可以在较高的烟气流速下捕获更多的颗粒。

国外研究表明，当烟气中的SO3高于露点温度时，低于205℃（400F）时，主要以H2SO4的微滴形式存在。其平均直径为0.4μm以下，属于亚微米颗粒范畴。这也是干式静电除尘器和FGD对SO3去除率低的主要原因。湿式静电除尘器对亚微米颗粒的高捕获率对SO3的微滴有同样的作用。

因此，湿式静电除尘器能有效去除亚微米粒子、雾滴，小至0.01μ根据运行电场数的不同，m的除尘效率一般可达99.9%以上